【48812】北京：建造收回体系完成循环运用用水大户变身节水高手

  坐落北京经济技术开发区的中芯世界集成电路制作有限公司，不但是芯片巨子，也是节水“高手”。这家用水大户凭仗自建的工业废水收回体系，自建成以来已累计节水2400余万吨。依照昆明湖200万立方米容积核算,中芯世界节水量相当于12个昆明湖。

  在中芯世界废水收回车间内，伴跟着隆隆的机器声，收回的工业废水通过活性炭塔、保安过滤器、反渗透膜三道过滤，源源不断地汇入巨大的储水罐。

  “虽然是工业废水，但假如白白排掉也是巨大糟蹋。”中芯世界厂务水科司理廉串海介绍，水是生命之源，关于中芯世界这样的芯片出产企业来说，水同样是重要的“生命线”。

  在芯片出产的悉数过程中，对晶圆进行刻蚀是其间的重要过程。刻蚀后的晶圆需要用超纯水进行整理洗刷，而超纯水的制备，则需要用很多自来水。仅此一项，该企业一天就要用掉近1万吨水。廉串海介绍，超纯水是比蒸馏水还要“纯洁”的水，从自来水到超纯水，傍边也有一部分损耗。

  为了削减对自来水的耗费，中芯世界将目光投向了再生水源。在厂区的部分供水管线上，能够正常的看到上面印有“小红门中水”的字样。廉串海介绍，在一些对水要求不高的工艺中，该企业现已用上了来自小红门、广博等再生水厂的再生水。

  而真实的“大头”，则是来自厂区自己的收回水。自2002年建厂以来，中芯世界自筹资金，先后建造了三套废水收回体系，将水循环运用起来。“清洗发生的废水，会会集收集到水箱进行水质检测，随后进入收回体系，通过层层过滤去除污染物，检测合格的水会再次供应到超纯水设备。这样一来，就能削减运用自来水，而咱们自己排下来的水，又能进入出产循环，相当于多了一个水源。”

  廉串海说，在这样的一个过程中，处理体系首要监测的目标是TOC（总有机物）和电导率。过滤之后，水的电阻率要到达18兆欧以上，才能够做到超纯水的要求。而剩下不合格的水也不会被糟蹋，在冷却塔等设备中，这些水也能物尽其用。“包含咱们在超纯水制作中发生的废水，咱们也会想方法运用起来，不让它直接排走。”跟着该企业产能的扩展，厂区的废水收回体系也在不断扩建，节水才能不断提高。

  作为同行业中最早用上再生水的企业，建厂至今18年来，中芯世界已累计节水2400余万吨。放眼整个北京经济技术开发区，万元GDP水耗接连多年保持在4立方米以内，为北京市中等水准的三分之一，用水功率到达世界领先水平。